PVDF Pipe & Fitting
半導體製造中,需要使用大量的超純水。 而超純水供應系統離不開管道和接頭,由於製程中對超純水
的金屬離子、TOC、電阻率要求非常高,目前傳輸超純水的材質主要是聚偏二氟乙烯 (PVDF) ,聚偏
二氟乙烯作為熱塑性塑膠有以下優點:
• 易加工性
• 焊接性佳
• 非常好的耐化學腐蝕性,即使用在高溫下
• 抗紫外線及γ-射線能力強,耐老化性佳
• 優異的耐磨性 (低摩擦係數)
• 良好的機械性質
• 不含任何添加物
• 優異的絕緣性能 (可穩定地確保超純水的電阻率超過18MΩcm)
Cleaning Process Filtration Solution
CMP Slurry Filtration Solution
Lithography Process Filtration Solution
DI-Water Filtration Solution
Liquid Filter Housings
Gas Filtration Solution
PVDF Pipe & Fitting
UF膜
NF膜
氣液分離膜接觸器
De-gasser產品
200L Drum
Telfon Tube
Teflon 膠條
DV310氣動薄膜閥
DV311手動薄膜閥
Single Wafer Cleaner
CDS(Chemical Delivery System)
Single Wet Scrubber
Dryer(200mm FRD / 300RD)