終端超濾是超純水製備系統的最後一道製程，是整個超純水系統最後一道防線。終端超濾能夠有效截留前級製程設備脫落的顆粒以及管路或連接件析出的微小顆粒。同時，終端超濾也需要確保自身不會發生顆粒析出脫落，並且要控制TOC和金屬離子、陰離子的含量，以滿足最終的水質要求。目前該產品半導體領域只有兩家日本公司可以提供，科百特UF的推出打破了這一領域的國外壟斷。